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產品資料
沿線超高潔凈氮氣離子產生器
產品型號:4214
產品廠商:
簡介:

Simco-Ion 沿線超高潔凈氮氣離子產生器型號 4214 是特別為了電離氮氣而設計,能把電離氮氣的離子送至超高潔凈要求的半導體和其他高純潔凈度的制程。一般市面上的氮氣離子產生器都要求在氮氣流內加進少許氣體以產生離子,而這個先進工藝的離子產生器采用一個小而高效的電源,就可電離氮氣。 型號 4214 離子產生器利用高頻交流電離技術,能提供快速的消散時間,有效地中和靜電。微控處理和細小體積,能容易整合需要氮離子產生器的設備。超高潔凈的設計和內置微粒采集系統,能確保是*干凈的離子產生器,兼容和提供要緊半導體制程的靜電中和。只需提供不間斷的氮氣通過型號 4214,產生的氮離子就能滿足 Extended ISO Class1潔凈度,適合在 22 nm 和以下的所有晶圓技術制程工作。

產品參數

         產品型號

         4214

         工作電壓

         +24VDC,±5% @ 0.25A,6W(typ)

         離子平衡

        <±25V@ (沒有外接復合管道,工作距離15cm,氮氣流量0.04m3/[email protected] bar)

         消散時間

         <10 秒 @ (±1000V 至 100V,沒有外接復合管道,工作距離
         15 cm,氮氣流量0.04m3 /[email protected]);<100 秒@
         (±1000V至100V,外接訂制復合管道,工作距離50cm)

         工作模式

         高頻交流

         符合潔凈度

         ISO 14644 Class 1 ( 0.1 μm 微粒 ) 和 ISO 14644 Class 12(0.01μm微粒)

         靜電針材質

         單晶硅

         使用氣體

         氮氣,*低純度99.999%

         氣體流量

         *小0.04 m3 /min @ 0.365bar;建議0.09m3/[email protected]*大0.1m3/[email protected]

         氣體溫度

         *高60 °C

         氣體接口

         輸入:Swagelok® 316L SST 1/8”FNPT 適配器轉至3/8”
        OD tubing (#SS-600-7-2);輸出:內嵌1/4NPT female
        threaded;選配復合管道連 1/4 NPT male

         操作環境

         離子產生器:*高 15-60°C;復合管道據個別要求而定

         控      制

         微控操作產生電離,自我平衡


         警      報

         高壓失效,低離子量,低氣體流量

         監控繼電接口
         1 & 2

         *大±[email protected]

         氣體過濾器

           可更換99.999%過濾效率@0.01μm微粒

         體      積

         152.4 x 72.4 x 32mm (沒接復合管道)

         重     量

           0.64 kg (沒接復合管道)

         封     裝

        Stainless steel

        支     架

        底部有兩個 M5 threaded 螺孔,M5 螺絲長度不能超過 10mm。








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